一种空间分辨激光诱导击穿光谱分析系统及其分析方法

摘要

一种空间分辨激光诱导击穿光谱分析系统，包括脉冲激光器，激光束变换聚焦光学系统，位移台，激光诱导等离子体信号采集装置，光谱仪，计算机；激光诱导等离子体信号采集装置包括夹持器和光纤探针，夹持器的弧形导轨上至少有一个滑块，滑块可在弧形导轨上滑动，滑块的孔中有可沿弧形导轨径向移动的套筒；光纤探针固定在套筒的圆孔中。本发明结构简单，可多角度、多距离采集激光诱导等离子体的光谱信号，通过调节光纤探针的角度和距离，抑制连续光谱背景，大大简化了LIBS技术的装置，不需依赖延时装置和定位装置，提高和扩展了现有技术的性能。

主权项

一种空间分辨激光诱导击穿光谱分析系统，其特征在于：包括脉冲激光器(13)，激光束变换聚焦光学系统(23)，位移台(18)，激光诱导等离子体信号采集装置(19)，光谱仪(20)，计算机(21)；所述脉冲激光器(13)所发出的激光信号经激光束变换聚焦光学系统(23)后到达位移台(18)上方，光谱仪(20)分别与脉冲激光器(13)、激光诱导等离子体信号采集装置(19)、计算机(21)连接；所述激光束变换聚焦光学系统(23)包括聚焦光组(17)；所述激光诱导等离子体信号采集装置(19)包括夹持器和光纤探针；所述夹持器包括弧形导轨(1)、滑块(5)和套筒(6)，弧形导轨(1)上至少有一个滑块(5)，滑块(5)可在弧形导轨(1)上滑动，滑块(5)中央有孔；套筒(6)穿过滑块(5)中央的孔，可沿弧形导轨(1)的径向移动；所述套筒(6)有圆孔(9)，光纤探针固定在套筒(6)的圆孔(9)中；所述光纤探针包括准直透镜(7)和光纤(8)，准真透镜(7)固定在套筒(6)内，光纤(8)入口端面位于准直透镜(7)的焦点处。