一种分子束外延大规模生产设备中的爪型衬底生长托板

摘要

本实用新型涉及一种分子束外延大规模生产设备中的爪型衬底生长托板，该托板包括放置衬底片的爪型台阶、放置阻挡热辐射圆环的台阶、限制阻挡热辐射圆环移动的台阶，三个台阶均为环形结构，托板中间为含有爪型台阶的圆形通孔；三个台阶为一个整体，在一块完整的钼板上通过机械加工铣削形成；放置衬底片的爪型台阶由中心圆形通孔边缘的爪组成，所述爪与托板为一体结构，其数量依所添加衬底尺寸决定；本实用新型与常规形状的衬底托板相比，由于减少了托板对外延片的阻挡面积，使得外延片表面由于热应力而引起的滑移位错线明显减少，同时划痕和污染也明显减少。

主权项

一种分子束外延大规模生产设备中的爪型衬底生长托板，其特征在于：该托板包括放置衬底片的爪型台阶(1)、放置阻挡热辐射圆环的台阶(2)、限制阻挡热辐射圆环移动的台阶(3)，三个台阶均为环形结构，托板中间为含有爪型台阶的圆形通孔；三个台阶为一个整体；放置衬底片的爪型台阶(1)由中心圆形通孔边缘的爪组成，所述中心圆形通孔边缘的爪与托板为一体结构；放置阻挡热辐射圆环的台阶(2)在放置衬底片的爪型台阶(1)与限制阻挡热辐射圆环移动的台阶(3)之间。