储气系统

摘要

一种储气系统，除了其他方面，还包括：囊状器的组和与该组耦接的激发元件。该囊状器的组形成在基体内，并且容纳以比大气压力相对较高的压力存储的气体。该激发元件配置为传输足够量的能量，以使这些囊状器中的至少一个囊状器释放所存储的气体。

主权项

一种储气系统，包括：囊状器的组，形成在硅结构内，并且容纳以比大气压力相对较高的压力存储在所述囊状器中的气体，所述硅结构包括单晶硅基体和接合到所述单晶硅基体的单晶硅盖；和激发元件，与所述组耦接，所述激发元件配置为传输足够量的能量，以使所述囊状器中的至少一个囊状器释放所存储的气体。