| 发明名称 |
执行分解用于双面图案化技术的图案之方法、程式产品与装置 |
| 摘要 |
一种将一含有待印刷于一晶圆上之特征之目标图案分解成多个图案之方法。该方法包括以下步骤：(a)界定一指示待成像之特征之间的最小必需间隔的影响区域；(b)选择一与该目标图案之一特征相关联之顶点；(c)相对于该顶点来判定另一特征之一边缘是否在该影响区域内；及(d)当另一特征之该边缘在该影响区域内时，将该另一特征分割成两个多边形。 |
| 申请公布号 |
TWI448824 |
申请公布日期 |
2014.08.11 |
| 申请号 |
TW096143090 |
申请日期 |
2007.11.14 |
| 申请人 |
ＡＳＭＬ荷兰公司 荷兰 |
发明人 |
罗柏 约翰 索嘉 |
| 分类号 |
G03F7/20;G03F1/36 |
主分类号 |
G03F7/20 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
林嘉兴 台北市松山区敦化北路201号7楼 |
| 主权项 |
一种以电脑实现用于将一含有待印刷(print)于一晶圆上之特征之目标图案分解成待独立成像之多个图案之方法，其包含以下步骤：(a)界定一指示待成像之特征之间的最小必需间隔的影响区域；(b)选择一与该目标图案之一特征相关联之顶点(vertex)；(c)相对于该顶点，藉由该电脑来判定另一特征之一边缘是否在该影响区域内；及(d)倘若另一特征之该边缘在该影响区域内，则将该另一特征分割成两个多边形，用于将其独立地纳入该多个图案之不同者中。 |
| 地址 |
荷兰 |
