准分子灯

摘要

[课题]目的在提供一种效率佳地放射使单体聚合所需之波长300-380nm之波长范围的紫外光的准分子灯，俾以提供最适于PSA用途的光源。;[解决手段]本发明之准分子灯，系具备有：被封入有含有氪气、碘气及氙气的放电气体的放电容器；及以夹持被形成在前述放电容器内部的放电空间而相对向的方式作配置的一对电极，在前述放电空间发生：碘的准分子I2*所发出之峰值波长为342nm附近的发光、及氙Xe与碘I的化合物的准分子XeI*所发出之峰值波长为320nm附近的发光等双方。

主权项

一种准分子灯，系具备有：被封入有含有氪气、碘气及氙气之放电气体的放电容器；及以夹持被形成于前述放电容器内部的放电空间而相对向的方式作配置的一对电极的准分子灯，其特征为：藉由将氙气的分压除以氪气的分压、碘气的分压及氙气的分压的合计所得的前述氙气的浓度为0.05~2.0%。