物件之二维与三维光学检视方法及设备与物件之光学检视资料的取得方法及设备

摘要

本发明系关于已制成之产品的光学检查，如对积体电路晶片凸块的光学检查等，并提出取得该物件之光学检查资料的方法及设备。本发明包含可具有共用之影像触发控制、及可同时操作而无干扰之二维光学扫描系统及三维光学扫描系统，其中二维及三维光学扫描系统之同时操作可得到相同的视界。

主权项

一种获取一物件之光学检视资料的方法，包含下列步骤：提供一三维光学扫描系统，以获得该物件的轮廓线资料；提供一二维光学扫描系统，以获得该物件的至少一二维影像；设置该三维光学扫描系统及该二维光学扫描系统具有一相同视界；同时提供该物件与该二维光学扫描系统及该三维光学扫描系统之间以相对移动；及自动在不同时间区间触发该三维光学扫描系统之轮廓线资料取得及该二维光学扫描系统之二维影像取得，且该等时间区间为该相对移动之函数；其中该二维光学扫描系统之方向线被设为与该物件之移动方向线夹约九十度角，该三维光学扫描系统方向线被设为与该二维光学扫描系统之方向线夹约四十度角，且一平面光投影器之方向线被设为与该二维光学扫描系统之光方向线夹约四十五度角。