聚亚醯胺及光阻树脂组成物

摘要

本发明系有关于一种用于半导体之缓冲涂布之聚亚醯胺、及包含其之感光树脂组成物。聚亚醯胺系为如下列化学式1所示之聚亚醯胺聚合物。再者，本发明所提供之感光树脂组成物，系包括1)BDA系列可溶性聚亚醯胺，其具有70%或以上之i-光穿透率；2)聚醯胺酸，其具有40%或以上之拉伸度；3)酚醛树脂；以及4)重氮萘醌酯系列感光材料，同时，本发明所提供之感光树脂组成物，具有半导体缓冲涂布所需之高解析度、高感光性、极佳薄膜特性及机械物理特性等。

主权项

一种正感光树脂组成物，包括：(i)一聚亚醯胺，其系具有70%以上之i-光穿透率、1,000至100,000之重量平均分子量、以及200至400℃之玻璃转移温度并且如下列化学式1所示；以及(ii)一光反应化合物；其中，Z系为一四价有机基团，该四价有机基团系衍生自羧基双酐(carboxyl dianhydride)、或羧基双酐衍生物，且该羧基双酐包含1至100mol%之丁烷-1,2,3,4-四甲酸二酐(butane-1,2,3,4-tetracarboxylic dianhydride)；a系为1至150之整数，而b系为1至400之整数；Y1系为一衍生自二胺(diamine)之二价有机基团，且该二价有机基团包含一酚醛羟基(phenolic hydroxyl)自由基、羧基自由基、或羟基自由基；以及Y2系为一二价脂肪基(aliphatic)或芳基有机基团，其系衍生自二胺。