发明名称 |
切割装置、切割装置单元及切割方法 |
摘要 |
〔课题〕;可容易地进行刀片之交换、真直度、同轴度确认和端面调整以及喷嘴调整等,且让保养之作业性、切割装置的重心稳定并缩小设置空间。;〔解决手段〕;一种切割装置,具备有:载置工件的工作台、切断该工件用的刀片、使该工作台上的工件与前述刀片相对移动的工作台进给机构、可旋转地安装前述刀片的主轴、以及支持该主轴的主轴移动机构,且该主轴移动机构和前述工作台进给机构相互正交地配设,前述主轴移动机构和前述工作台进给机构配置在呈方形之切割装置的方形框体之对角线上,且在前述切割装置的大致部配设工件切断加工部,并且在前述切割装置的前部设置工件交换部。 |
申请公布号 |
TWI449095 |
申请公布日期 |
2014.08.11 |
申请号 |
TW099108206 |
申请日期 |
2010.03.19 |
申请人 |
日本东京精密股份有限公司 日本 |
发明人 |
新井裕介;藤田隆;东正幸 |
分类号 |
H01L21/304 |
主分类号 |
H01L21/304 |
代理机构 |
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代理人 |
黄长发 台北市大安区忠孝东路4段250号11楼之6 |
主权项 |
一种切割装置具备:载置工件的工作台;切断该工件用的刀片:使该工作台上的工件朝前述刀片相对移动用的工作台进给机构;以可旋转地安装前述刀片用的主轴;及以可支持该主轴用的主轴移动机构,该主轴移动机构和该工作台进给机构相互正交地配设,其特征为;前述主轴移动机构和前述工作台进给机构,系配置在俯视呈方形的切割装置之方形框体的对角线上,且前述切割装置的大致中央部配设有工件切断加工部,并且在前述切割装置的前部设置工件交换部,于隔着前述工件切断加工部在前述工件交换部的相反侧配设有水雾排气部。 |
地址 |
日本 |