容器交换系统、容器交换方法及基板处理系统

摘要

本发明提供一种可防止基板处理装置的运转率降低，并且可防止半导体元件的生产量减少的容器交换系统。;容器交换系统(24)系具备有：配置在具有FOUP载置台(14)之装载机模组(15)之上方的FOUP搬送装置(19)，FOUP搬送装置(19)系具有：沿着轨条(13)行走的行走体(20)；被设在该行走体(20)之下方的保持具(21)；及使保持具(21)在行走体(20)及FOUP载置台(14)之间升降的皮带(22)，具备有：在保持具(21)所保持的FOUP(11)的升降路径进退自如的载置板(27)；及被配置在载置板(27)上方的起重器(26)，起重器(26)系具有：在升降路径进退自如的臂部(29)；设在该臂部(29)之下方的保持具(30)；及使保持具(30)在臂部(29)及FOUP载置台(14)之间升降的皮带(31)。

主权项

一种容器交换系统，系具备有：搬送收容基板之容器的容器搬送装置；至少具有载置前述容器的第1载置部、及装载机模组的基板处理装置；被配置在前述装载机模组上，具有开口部及载置前述容器的第2载置部的缓冲室；及被配置在前述缓冲室之上，具有由前述第1载置部或前述第2载置部将前述容器进行升降之伸缩自如的第2升降部的容器升降装置，该容器交换系统之特征为：前述容器搬送装置系具备有：保持前述容器来进行升降的第1保持体；支持前述第1保持体，沿着轨条行走的行走体；及当前述第1保持体与前述第1载置部相对向时，在前述行走体及前述第1载置部之间使前述容器进行升降的第1升降部，前述第2载置部系在藉由前述第1升降部作升降的前述第1保持体所保持的前述容器的升降路径进退自如，使本身所载置的前述容器在前述缓冲室及前述升降路径之间移动，前述容器升降装置系具备有：在前述升降路径进退自如的基部；及保持前述容器而藉由前述第2升降部作升降的第2保持体，前述第2升降部系设在前述基部的下方，在前述缓冲室与前述第2载置部之间、或前述第2载置部与前述第1载置部之间将前述容器进行升降。