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发明名称
DEVICE FOR DAMPING VIBRATIONS OF OPTICAL ELEMENT, OBJECTIVE LENS, PROJECTION EXPOSURE MACHINE AND METHOD USING THE SAME
摘要
An optical element has at least one additional element fitted thereon which dissipates the vibrational energy of the optical element by friction.
申请公布号
KR101428817(B1)
申请公布日期
2014.08.08
申请号
KR20087003464
申请日期
2006.07.13
申请人
发明人
分类号
G02B1/00;G02B3/00
主分类号
G02B1/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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