Thermischer Luftmengenmesser

摘要

Ein thermischer Luftmengenmesser, welcher einen geringeren Messfehler erzeugt, wird bereitgestellt. Der thermische Luftmengenmesser enthält: ein Halbleitersubstrat; einen Heizwiderstand, Widerstandstemperaturfühler und einen elektrischen Isolator, welcher eine Siliciumoxidschicht enthält, wobei der Heizwiderstand, die Widerstandstemperaturfühler und der elektrische Isolator auf dem Halbleitersubstrat gebildet sind; und einen durch Entfernen eines Bereichs des Halbleitersubstrats gebildeten Membranbereich. Der Heizwiderstand und die Widerstandstemperaturfühler sind auf dem Membranbereich gebildet. Der thermische Luftmengenmesser enthält ferner eine als der elektrische Isolator über dem Heizwiderstand und den Widerstandstemperaturfühlern gebildete Siliciumnitridschicht. Die Siliciumnitridschicht weist den Flächenstrukturen des Heizwiderstands und der Widerstandstemperaturfühler entsprechende Stufen auf. Die Siliciumnitridschicht hat eine mehrlagige Struktur.