用于LAO衬底的非极性蓝光LED外延片的制备装置

摘要

本实用新型公开了一种用于LAO衬底的非极性蓝光LED外延片的制备装置，包括机械手和反应腔，所述反应腔内设有石墨盘，所述石墨盘的下方设有射频感应加热器，所述石墨盘的上方设有喷头，所述反应腔上还设有射频等离子源装置，所述喷头和射频等离子源装置与气体输送管道相连。本实用新型提供的用于LAO衬底的非极性蓝光LED外延片的制备装置，利用机械手输送衬底和样品，通过射频感应加热器对衬底加热及控温，控制各种反应气体在反应腔生成LED外延片具有缺陷密度低、结晶质量好，发光性能好的优点，且制备成本低廉。

主权项

一种用于LAO衬底的非极性蓝光LED外延片的制备装置，其特征在于，包括机械手（26）和反应腔（29），所述反应腔（29）内设有石墨盘（28），所述石墨盘（28）的下方设有射频感应加热器（27），所述石墨盘（28）的上方设有喷头（30），所述反应腔（29）上还设有射频等离子源装置（31），所述喷头（30）和射频等离子源装置（31）与气体输送管道相连。