具有大电感可调谐性的静电可调谐磁电电感器

摘要

一种静电可调谐磁电电感器，包括：衬底；压电层；以及磁电结构，其包括第一导电层、磁性薄膜层、第二导电层和凹槽，它们形成为创建围绕所述磁性薄膜层的至少一个导电线圈；其中衬底的一部分被去除以便增强压电层的形变。还公开了一种制造静电可调谐磁电电感器的方法。静电可调谐磁电电感器显示了＞5:1的可调谐电感范围，同时在调谐过程中功耗少于0.5mJ，不需要持续的电流来维持调谐，并且不需要例如驱动器或开关的复杂的机械组件。

主权项

一种制造静电可调谐磁电电感器的方法，所述方法包括：在衬底上形成压电层；在所述压电层的上面形成磁电结构，其通过以下步骤实现：形成布置在所述压电层的上面的第一导电层；形成布置在所述第一导电层的上面的磁性薄膜层；形成布置在所述磁性薄膜层的上面的第二导电层，其中所述第二导电层与所述第一导电层电导通，以便形成围绕所述磁性薄膜层的至少一个导电线圈。