真空换料水平直线蒸镀源

摘要

本发明涉及一种真空换料水平直线蒸镀源，该蒸镀源采用水平直线下喷式蒸镀，蒸镀宽度300mm。适用于升华温度低于2500C的非金属元素的蒸镀。本发明具有体积小、结构简单、制作成本低可在线连续补给或更换原料、原料加热多点可控等优点。

主权项

一种真空换料水平直线蒸镀源，包括升华仓储存真空室及其真空系统、升华仓更换及补给系统、装置控制系统、蒸镀源室及其加热屏蔽系统，其特征在于：采用水平直线下喷式蒸镀，蒸镀源室和升华仓储存室两部分，两部分之间以气动插板阀隔离，可以手动补充新升华仓而不影响生产线的运行。