薄膜的制造装置、薄膜的制造方法及基板输送辊

摘要

成膜装置（20A）的输送系统（50A）包括具有将冷却气体向基板（21）供给的功能的吹风辊（6）。吹风辊具有第一壳体（11）和内块（12）。第一壳体（11）具有作为气体的供给路径的多个第一贯通孔（13），能与基板（21）同步地旋转。内块（12）配置在第一壳体（11）的内部。由内块（12）在第一壳体（11）的内部规定歧管（14）。歧管（14）形成为在接触角的范围内向多个第一贯通孔（13）导引气体。在第一壳体（11）的内部，还形成有在接触角的范围外与多个第一贯通孔（13）相对向的间隙部（15）。在径向上，歧管（14）具有相对较大的尺寸，间隙部（15）具有相对较小的尺寸。

主权项

一种薄膜的制造装置，具备：真空槽；输送系统，配置在所述真空槽内以使得将长尺寸的基板从卷出位置向卷取位置输送；开口部，设置在所述输送系统的输送路径；和成膜源，用于在所述开口部向所述基板赋予材料，所述输送系统包括吹风辊，该吹风辊具有输送所述基板的功能、以及将用于冷却所述基板的气体向所述基板供给的功能，所述吹风辊包括：（i）圆筒形的第一壳体，其具有用于支撑所述基板的圆筒形的外周面、和沿所述外周面的周向设置的作为所述气体的供给路径的多个第一贯通孔，能与所述基板同步地旋转；（ii）内块，其配置在所述第一壳体的内部，被禁止与所述基板同步地旋转；（iii）歧管，其是在所述第一壳体的内部由所述内块规定以保持从所述真空槽的外部导入的所述气体的空间，形成为在由以所述第一壳体的旋转轴为中心的、所述第一壳体和所述基板的接触部分的角度定义的接触角的范围内，向所述多个第一贯通孔导入所述气体，在所述第一壳体的径向上具有相对较大的尺寸；和（iv）间隙部，其是形成在所述第一壳体的内部的空间，形成为在所述接触角的范围外向所述多个第一贯通孔导入所述气体，在所述径向上具有相对较小的尺寸。