利用X射线衍射对晶体进行测试的方法

摘要

一种利用X射线衍射对晶体进行测试的方法，所述晶体包括单晶衬底、在单晶衬底上生长的至少一层晶格失配材料。所述方法先扫描出样品的倒易空间图，根据倒易空间图，计算出ω轴与2θ轴之间的运动速度比1∶n；然后对测试样品采用ω轴与2θ轴以1∶n的速度比联动的方式进行扫描，根据得到的扫描曲线，计算所述至少一层晶格失配材料的晶面间距。本方法与RSM相比，可以快速测量晶格失配材料的晶格常数，可以将速度提高20倍，而测量精度与RSM接近。

主权项

一种利用X射线衍射对晶体进行测试的方法，所述晶体包括单晶衬底、在单晶衬底上生长的至少一层晶格失配材料，所述方法包括以下步骤：a)对于同批次生产的多个同种晶体样品进行测试时，对首个样品进行倒易空间图RSM扫描，在扫描得到的RSM图中，根据ω轴和2θ轴实际转动的角度比，采用如下公式计算ω轴与2θ轴之间的运动速度比1：n：Δω=Δω1+Δω2Δ2θ=2*Δω2n=Δ2θ/Δω其中Δω是ω轴实际转动角度的变化，Δ2θ是2θ轴实际转动角度的变化，Δω1是晶格失配材料的晶面与衬底的对应晶面之间的夹角，Δω2是布拉格角的变化；b)对于其余每个样品，采用ω轴与2θ轴以1：n的速度比联动的方式进行扫描，根据得到的扫描曲线，计算所述至少一层晶格失配材料的晶面间距。