发明名称 |
一种放置盒内基板破损的检测方法及放置盒 |
摘要 |
本发明实施例提供一种放置盒内基板破损的检测方法及放置盒。涉及液晶面板制造领域,能够在放置盒内检测基板是否受损,保证后续工艺的成品率。该放置盒,包括放置盒框架,位于放置盒框架顶部的顶部金属板、位于放置盒框架底部的底部金属板,在放置盒框架上设有多层基板放置架,放置盒的每层基板放置架上均设有至少一个压力传感器,或者,放置盒的隔层基板放置架上设有至少一个压力传感器;压力传感器用于获取放置在基板放置架上的基板的压力值;数据处理单元,与基板放置架上的压力传感器分别相连,用于根据压力传感器获取的压力值确定放置在基板放置架上的基板是否发生破损。本发明实施例用于在搬送基板的过程中对基板进行检测。 |
申请公布号 |
CN102651329B |
申请公布日期 |
2014.08.06 |
申请号 |
CN201110281848.2 |
申请日期 |
2011.09.21 |
申请人 |
北京京东方光电科技有限公司 |
发明人 |
董云;秦纬 |
分类号 |
H01L21/673(2006.01)I;H01L21/66(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/673(2006.01)I |
代理机构 |
北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 |
代理人 |
申健 |
主权项 |
一种放置盒,包括放置盒框架,位于所述放置盒框架顶部的顶部金属板、位于所述放置盒框架底部的底部金属板,在所述放置盒框架上设有多层基板放置架,其特征在于,还包括,所述放置盒的每层基板放置架上均设有至少一个压力传感器,或者,所述放置盒的每隔一层的基板放置架上设有至少一个压力传感器;所述压力传感器用于获取放置在所述基板放置架上的基板的压力值;数据处理单元,与所述基板放置架上的压力传感器分别相连,用于根据所述压力传感器获取的压力值确定放置在所述基板放置架上的基板是否发生破损。 |
地址 |
100176 北京市经济技术开发区西环中路8号 |