通过为硬盘驱动器图案化媒体应用C掺杂的磁性媒体的去磁

摘要

本发明所述的实施例提供用于通过将离子通过压印的氧反应掩模注入到磁性基板的磁致激活表面来处理磁性基板，和通过将基板暴露于含氧等离子体来去除掩模的方法和设备，所述磁性基板具有形成在所述磁性基板上的压印的、氧反应掩模，其中离子不降低掩模的氧反应性。掩模可以是无定形碳，通过所述无定形碳，含碳离子被注入到磁致激活表面中。也可包含氢的含碳离子可通过激活烃气和氢气的混合物形成。氢气与烃气之比可被选择或调整以控制离子注入。

主权项

一种形成图案化磁性基板的方法，包含：在基板的磁致激活表面上形成图案化光刻胶，其中所述图案化光刻胶限定所述磁致激活表面的暴露部分；将所述基板暴露于碳等离子体；将来自所述碳等离子体的碳离子注入到所述磁致激活表面的所述暴露部分中；和通过将所述基板暴露于氧等离子体来去除所述图案化光刻胶。