基板清洁机的防发尘黏轮导移装置

摘要

一种基板清洁机的防发尘黏轮导移装置，包含一个框架单元，及一个升降单元，该框架单元包括相间隔设置的一个前侧板、一个后侧板，及一个界定于该前侧板及该后侧板之间的容置空间，该前侧板及该后侧板分别具有一个内侧面、一个外侧面，及一个导槽，该升降单元包括一个前导移组、一个后导移组，及一个黏轮支撑轴，该前导移组设置于该框架单元的该前侧板，并具有一个前滑块，及数个滚动件，该后导移组设置于该框架单元的该后侧板，并具有一个后滑块，及数个滚动件，该黏轮支撑轴沿该参考轴向设置于该前导移组及该后导移组之间。借由装设该前导移组的所述滚动件及该后导移组的所述滚动件，能滚动移载于该前侧板及该后侧板上，且移载过程间不产生磨耗。

主权项

一种基板清洁机的防发尘黏轮导移装置，包含一个框架单元，该框架单元包括沿一条参考轴向相间隔设置的一个前侧板、一个后侧板，及一个界定于该前侧板及该后侧板之间的容置空间，该前侧板及该后侧板分别具有一个面向该容置空间的内侧面、一个背向该容置空间的外侧面，及一个贯通该内侧面及该外侧面的导槽；其特征在于：该基板清洁机的防发尘黏轮导移装置还包含：一个升降单元，包括：一个前导移组，设置于该框架单元的该前侧板，并具有一个位于该导槽内的前滑块，及数个分别贴靠于该后侧板的该内侧面及该外侧面的滚动件，一个后导移组，设置于该框架单元的该后侧板，并具有一个位于该导槽内的后滑块，及数个分别贴靠于该后侧板的该内侧面及该外侧面的滚动件，及一个黏轮支撑轴，沿该参考轴向设置于该前导移组及该后导移组之间。