发明名称 |
分布式布拉格反射结构的太赫兹量子级联激光器 |
摘要 |
本发明提供一种分布式布拉格反射结构的太赫兹量子级联激光器,包括多模波导及分别形成于所述多模波导两侧的DBR光栅波导,其中,所述多模波导的宽度至少为所述DBR光栅波导宽度的两倍。本发明采用宽度较宽的多模波导与宽度较窄的DBR光栅波导组合设计,可以同时实现单横模激射和单纵模激射;并且具有更大的增益面积及更高的输出光功率,可以提高出光光束的质量和收集效率,且器件更加小巧。本发明的DBR光栅波导通过波导宽度的周期性变化实现反馈,其上下电极可采用整片金属,具有更均匀的注入电流,易于实现激光波长调谐和上电极引线键合,提高了器件的成品率和工作稳定性,同时减少了太赫兹激光的功率损失。 |
申请公布号 |
CN103972791A |
申请公布日期 |
2014.08.06 |
申请号 |
CN201410206087.8 |
申请日期 |
2014.05.15 |
申请人 |
中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
发明人 |
姚辰;曹俊诚 |
分类号 |
H01S5/125(2006.01)I;H01S5/20(2006.01)I;H01S5/343(2006.01)I |
主分类号 |
H01S5/125(2006.01)I |
代理机构 |
上海光华专利事务所 31219 |
代理人 |
李仪萍 |
主权项 |
一种分布式布拉格反射结构的太赫兹量子级联激光器,包括多模波导及分别形成于所述多模波导两侧的DBR光栅波导,其特征在于:所述多模波导的宽度至少为所述DBR光栅波导宽度的两倍。 |
地址 |
200050 上海市长宁区长宁路865号 |