| 发明名称 | 一种光刻机垂向距离测量装置及测量方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供了一种光刻机垂向距离测量装置，包括：垂向支架和测量传感器，所述垂向支架的一端与光刻机的内部框架上的主基板连接；所述测量传感器包括本体和感应部分，所述本体设置于所述垂向支架的另一端，所述感应部分放置于所述光刻机的支撑平台上,所述本体与所述感应部分相对设置，所述本体用于向所述感应部分发送测量媒介，所述感应部分用于感应所述测量媒介，并根据感应到的所述测量媒介获取工件台与主基板之间的垂向距离。通过光刻机垂向距离测量装置能够有效测量工件台与内部框架上的主基板之间的垂向距离，从而建立起工件台与内部框架上的主基板的有效的垂向位置关系。 | ||
| 申请公布号 | CN103969957A | 申请公布日期 | 2014.08.06 |
| 申请号 | CN201310029988.X | 申请日期 | 2013.01.25 |
| 申请人 | 上海微电子装备有限公司 | 发明人 | 王天明 |
| 分类号 | G03F7/20(2006.01)I;G01B7/14(2006.01)I;G01B11/14(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/20(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人 | 屈蘅;李时云 |
| 主权项 | 一种光刻机垂向距离测量装置，其特征在于，包括：垂向支架和测量传感器，所述垂向支架的一端与光刻机的内部框架上的主基板连接；所述测量传感器包括本体和感应部分，所述本体设置于所述垂向支架的另一端，所述感应部分放置于所述光刻机的支撑平台上,所述本体与所述感应部分相对设置，所述本体用于向所述感应部分发送测量媒介，所述感应部分用于感应所述测量媒介，并根据感应到的所述测量媒介获取工件台与主基板之间的垂向距离。 | ||
| 地址 | 201203 上海市浦东新区张东路1525号 | ||