| 发明名称 | 提前监控并预防连接孔钨栓粘合层剥落缺陷的方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供了一种提前监控并预防连接孔钨栓粘合层剥落缺陷的方法，包括：利用晶边扫描机台进行晶边光阻宽度检测处理，以便在有源区光刻工艺后对晶圆的光阻洗边情况进行监控；根据晶边扫描机台的扫描结果跟踪建立光阻洗边情况与剥落缺陷之间的关系，得出能够产生剥落缺陷的阈值光阻残留宽度；持续在线监控晶圆上的光阻的洗边情况，并将光阻残留宽度超过阈值光阻残留宽度的晶圆作为洗边不合格晶圆进行返工操作。通过应用本发明，可以有效地提前监控剥落缺陷，并通过适当的返工避免后续工艺中剥落缺陷的发生，为在线缺陷去除提供保障，为大批量晶圆生成提供良率保障。 | ||
| 申请公布号 | CN103972125A | 申请公布日期 | 2014.08.06 |
| 申请号 | CN201410216681.5 | 申请日期 | 2014.05.21 |
| 申请人 | 上海华力微电子有限公司 | 发明人 | 范荣伟;袁增艺;龙吟;顾晓芳;陈宏璘 |
| 分类号 | H01L21/66(2006.01)I;H01L21/768(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/66(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人 | 王宏婧 |
| 主权项 | 一种提前监控并预防连接孔钨栓粘合层剥落缺陷的方法，其特征在于包括：利用晶边扫描机台进行晶边光阻宽度检测处理，以便在有源区光刻工艺后对晶圆的光阻洗边情况进行监控；根据晶边扫描机台的扫描结果跟踪建立光阻洗边情况与剥落缺陷之间的关系，得出能够产生剥落缺陷的阈值光阻残留宽度；持续在线监控晶圆上的光阻的洗边情况，并将光阻残留宽度超过阈值光阻残留宽度的晶圆作为洗边不合格晶圆进行返工操作。 | ||
| 地址 | 201203 上海市浦东新区张江开发区高斯路568号 | ||