| 主权项 |
一种晶圆搬运机器人，其特征在于，包含：一基座，具有一顶板、底板、附加电路板、活动板及支撑柱；该顶板与底板之间由该支撑柱连结，该顶板具有一穿设孔，该附加电路板及活动板介于该顶板与底板之间，该附加电路板固定于该底板、并与该底板间隔一距离设置，该活动板介于该附加电路板与顶板之间，该活动板设有一承载部及三个承接座，该承接座以相等角度数组于该承载部的周围；一立柱，其为长条状结构，该立柱固定于该承载部、且又穿设于该穿设孔，并相对该穿设孔往复移动；一滚珠螺杆，包含：一螺杆及一螺帽，该螺杆沿一方向延伸为长条状结构，定义该延伸方向为轴方向，该螺杆的轴方向的两端分别定义为第一端及第二端，该第一端枢设于该顶板，该第二端枢设于该附加电路板，其设有螺旋状的滚动沟；该螺帽设有供该螺杆穿设的贯穿孔，该贯穿孔的内缘面设有相对该滚动沟的滚动槽，该滚动沟及滚动槽之间设有多个滚动件；该螺帽与其中一该承接座连结；两线性轴承，其分别包含：一轨轴及一环型滑块，该轨轴沿一方向延伸为长条状结构，定义该延伸方向为轴方向，该轨轴的轴方向的两端分别定义为第一端及第二端，该第一端固设于该顶板，该第二端固设于该附加电路板；该环形滑块设有多个朝轴方向设置的内滚动槽，该内滚动槽与该轨轴之间设有多个滚动件；两该线性轴承的环形滑块分别与另外两该承接座连结；一动力源，其固定于该附加电路板，该动力源与该螺杆的第二端连接并驱动该螺杆旋转；其中，各该承接座之间的角度为120度；该螺杆经由该动力源驱动旋转时，该螺帽带动该活动板位移，而该环形滑块相对该轨轴线性位移，而带动该立柱相对该穿设孔位移。 |
