一种多晶硅和准单晶硅铸锭炉及其使用方法

摘要

本发明公开了一种多晶硅和准单晶硅铸锭炉及其使用方法，所述铸锭炉包括石英坩埚，其中，所述石英坩埚的外侧设有第一感应加热器，底部设有第二感应加热器，顶部设有第三感应加热器，所述石英坩埚外设有石墨坩埚，所述石英坩埚和石墨坩埚之间设有隔热层，所述第一感应加热器围绕设置在石墨坩埚的外侧。本发明提供的多晶硅和准单晶硅铸锭炉及其使用方法，通过采用双层坩埚并在不同方位设置多个感应加热器，利用螺旋线圈产生交变磁场在多晶硅原料和溶液内产生涡旋电流，由于感应线圈处在高温热区之外，加热时热损耗较少；通过对感应加热器的线圈排布进行优化设计，在炉内实现精准的定向温度梯度，更好地控制长晶方向并进行快速的定向凝固。

主权项

一种多晶硅和准单晶硅铸锭炉，包括石英坩埚（1），其特征在于，所述石英坩埚（1）的外侧设有第一感应加热器（2），底部设有第二感应加热器（3），顶部设有第三感应加热器（4），所述石英坩埚（1）外设有石墨坩埚（5），所述石英坩埚（1）和石墨坩埚（5）之间设有隔热层（6），所述第一感应加热器（2）围绕设置在石墨坩埚（5）的外侧。