混合气体制作方法以及气体混合装置

摘要

本发明涉及一种气体混合装置(1)，包括：主气体流路(10)、附加气体流路(20)、混合部(32)以及流量控制部(40)。在上述主气体流路(10)上设置根据上述附加气体流路(20)内的压力调节主气体(G1)的压力的先导式压力调节部(14)以及检测上述主气体流路(10)的流量的质量流量计(15)。在上述附加气体流路(20)上设置调节附加气体(G2)的流量的附加气体流量调节器(24)。上述流量控制部(40)根据上述质量流量计(15)检测出主气体(G1)的流量通过上述附加气体流量调节器(24)对附加气体(G2)的流量进行控制。

主权项

一种气体混合装置，通过混合主气体与附加气体生成混合气体，所述气体混合装置的特征在于，包括：主气体流路，其供应主气体；附加气体流路，其供应附加气体；混合部，其使所述主气体流路与所述附加气体流路相连接，混合主气体与附加气体，并将生成的混合气体向混合气体排出口排出；以及流量控制部，所述主气体流路中设置有根据所述附加气体流路内的附加气体的压力调节所述主气体流路内的主气体的压力的先导式压力调节部、以及检测所述主气体流路内的经压力调节后的主气体的流量的主气体流量检测单元，所述附加气体流路中设置有调节从所述附加气体流路向所述混合部流通的附加气体的流量的附加气体流量调节单元，所述流量控制部根据所述主气体流量检测单元检测出的主气体的流量，通过所述附加气体流量调节单元对流通至所述混合部的附加气体的流量进行控制。