链式通孔结构样品处理方法及失效测试方法

摘要

本发明提供一种链式通孔结构样品处理方法及失效测试方法，包括：提供一链式通孔结构初始样品，所述链式通孔结构初始样品包括第二铜金属层，钽层，形成于通孔中且位于所述钽层上的铜插塞；对所述链式通孔结构初始样品进行研磨，直至暴露所述第二铜金属层；采用湿法刻蚀工艺去除所述第二铜金属层和所述铜插塞，形成链式通孔结构测试样品。本发明采用湿法刻蚀工艺去除第二铜金属层中的铜和铜插塞，留下钽层，避免了金属铜的短路现象，又因为钽层中含有金属钽满足聚焦离子束显微镜的使用要求，从而对链式通孔结构失效位置定位。

主权项

一种链式通孔结构样品处理方法，其特征在于，包括：提供一链式通孔结构初始样品，所述链式通孔结构初始样品包括形成于一介质层中的第一沟槽、第二沟槽以及通孔，形成于所述第一沟槽中的第一铜金属层，形成于所述通孔以及第二沟槽侧壁的钽层，形成于所述通孔中且位于所述钽层上的铜插塞，形成于所述第二沟槽中且位于钽层上的第二铜金属层，所述铜插塞与所述第二铜金属层和第一铜金属层连接；对所述链式通孔结构初始样品进行研磨，直至暴露所述第二铜金属层；采用湿法刻蚀工艺去除所述第二铜金属层和所述铜插塞，形成链式通孔结构测试样品。