液晶显示装置的制造方法及液晶显示装置

摘要

一种液晶显示装置的制造方法及液晶显示装置，在形成将像素电路的薄膜晶体管与像素电极连接的通孔的情况下，减少有机绝缘膜上的无机绝缘膜的后退移动的量。液晶显示装置的制造方法包括：在薄膜晶体管的电极的上方形成具有第1孔的有机绝缘膜的工序；在有机绝缘膜的上方形成无机绝缘膜的工序；在第1孔的中心部之上形成具有第2孔的抗蚀膜的工序；使用抗蚀膜对无机绝缘膜进行干法刻蚀的工序；以及形成与被蚀刻后的无机绝缘膜的上表面接触的像素电极的工序。在进行干法刻蚀的工序中，使氟系气体及氧气的混合干法刻蚀气体的总流量为腔室的容积的0.09～0.11%/分钟，使混合干法刻蚀气体中的氧气的比例为80%以上。

主权项

一种液晶显示装置的制造方法，其特征在于，包括：在基板上形成薄膜晶体管的电极的工序；在所述薄膜晶体管的电极的上方形成具有第1孔的有机绝缘膜的工序；在所述有机绝缘膜的上方形成无机绝缘膜的工序；在所述第1孔的中心部之上形成具有第2孔的抗蚀膜的工序；使用所述抗蚀膜对所述无机绝缘膜进行干法刻蚀的工序；除去所述抗蚀膜的工序；以及形成与所述被蚀刻后的无机绝缘膜的上表面接触的像素电极的工序，在进行所述干法刻蚀的工序中，使氟系气体及氧气的混合干法刻蚀气体的总流量为（腔室的容积）×（0.09～0.11）/分钟，使所述混合干法刻蚀气体中的所述氧气的比例为80%以上。