衬底清洗用辊轴

摘要

1.本外观设计产品的名称为衬底清洗用辊轴。2.本外观设计产品是在衬底清洗中使用的轴，具体而言，是用于插入到对研磨处理后的衬底(半导体晶片等)表面上附着的研磨屑等进行清洗的衬底清洗用辊中的轴。3.本外观设计产品的设计要点在于产品的形状。4.指定主视图为最能表明设计要点的视图。5.由于后视图与主视图对称，故省略后视图，由于仰视图与俯视图相同，故省略仰视图。