| 发明名称 | 监控生产工艺的方法及生产工艺监控装置 | ||
| 摘要 | 本发明提供了监控生产工艺的方法及生产工艺监控装置。一种监控生产工艺的方法包括：通过使用测量装置分析等离子体发射光的发射强度来产生测量数据，当生产工艺装置中的等离子体气体从对应于高能态的能级变成对应于低能态的能级时产生所述等离子体发射光；基于测量数据产生补偿值，所述补偿值通过抵消由于生产工艺装置和测量装置的污染或测量装置的测量位置导致的灵敏度的变化而产生；基于补偿值监控生产工艺。 | ||
| 申请公布号 | CN103972123A | 申请公布日期 | 2014.08.06 |
| 申请号 | CN201310537592.6 | 申请日期 | 2013.11.04 |
| 申请人 | 三星显示有限公司 | 发明人 | 丁荣载 |
| 分类号 | H01L21/66(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/66(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 | 代理人 | 薛义丹;刘灿强 |
| 主权项 | 一种监控生产工艺的方法，所述方法包括：通过使用测量装置分析等离子体发射光的发射强度来产生测量数据，当生产工艺装置中的等离子体气体由对应于高能态的能级变成对应于低能态的能级时产生所述等离子体发射光；基于测量数据产生补偿值，所述补偿值通过抵消由于生产工艺装置和测量装置的污染或测量装置的测量位置导致的灵敏度的变化而产生；基于补偿值监控生产工艺。 | ||
| 地址 | 韩国京畿道龙仁市 | ||