多晶硅锭及其制造装置、制造方法和用途

摘要

本发明提供一种能够制造大尺寸、高质量且SiC夹杂物较少的多晶硅锭的多晶硅锭制造装置，所述多晶硅锭制造装置具备：具有上方开口部的坩埚；设置在所述坩埚外周并加热熔融容纳在坩埚内的硅原料的加热部；使所述坩埚和所述加热部在竖直方向上相对移动的移动机构(movement mechanism)；具有非活性气体导入孔、且覆盖所述坩埚的上方开口部以使其能打开/闭合的盖子；以及用于将非活性气体导入至所述非活性气体导入孔的非活性气体导入管道。

主权项

一种多晶硅锭制造装置，其具备：具有上方开口部的坩埚；设置在所述坩埚的外周并加热熔融容纳在坩埚内的硅原料的加热部；使所述坩埚和所述加热部在竖直方向上相对移动的移动机构；具有非活性气体导入孔、且覆盖所述坩埚的上方开口部以使其能打开/闭合的盖子；以及用于将非活性气体导入至所述非活性气体导入孔的非活性气体导入管道。