发明名称 | 研磨装置 | ||
摘要 | 一种研磨装置(100),具有:研磨台(110),其贴附有用于研磨基板(102)的研磨垫(108);液体供给部,其将液体供给到研磨垫(108)的研磨面;顶环(116),对夹着由液体供给部供给的液体而接触于研磨面的基板(102)进行吸附并从研磨面输送该基板;以及控制部,其在输送基板(102)时,使流体(N<sub>2</sub>)注入基板(102)与研磨垫(108)之间夹有液体(109)的内部区域(109a)。采用本发明,能够在维持基板的研磨性能的状态下提高基板的提起性。 | ||
申请公布号 | CN103962937A | 申请公布日期 | 2014.08.06 |
申请号 | CN201410043701.3 | 申请日期 | 2014.01.29 |
申请人 | 株式会社荏原制作所 | 发明人 | 河原俊一 |
分类号 | B24B37/04(2012.01)I | 主分类号 | B24B37/04(2012.01)I |
代理机构 | 上海市华诚律师事务所 31210 | 代理人 | 梅高强;刘煜 |
主权项 | 一种研磨装置,其特征在于,具有:研磨台,该研磨台贴附有用于研磨基板的研磨垫;液体供给部,该液体供给部将液体供给到所述研磨垫的研磨面上;基板保持部,该基板保持部吸附基板,并从所述研磨面对所述基板进行输送,所述基板夹着由所述液体供给部供给的液体而接触于所述研磨面;以及控制部,在输送所述基板时,该控制部使流体注入所述基板与所述研磨垫之间。 | ||
地址 | 日本国东京都大田区羽田旭町11番1号 |