一种MEMS红外光源

摘要

本实用新型公开了一种MEMS红外光源，包括一具有悬空结构的单晶硅衬底，所述单晶硅衬底的正面和反面分别为SiO₂薄膜层，所述单晶硅衬底正面的SiO₂薄膜层包括一层Si₃N₄薄膜层，所述Si₃N₄薄膜层上设置有一电极连接层，所述电极连接层上为一电极层，所述电极连接层与电极层形成的加热电极成一条纹结构设置在所述Si₃N₄薄膜层上。本实用新型制备的MEMS红外光源工艺简单，成本低，易于批量化生产，适用于便携式、微型化的气敏检测系统。

主权项

一种MEMS红外光源，其特征在于：包括一具有悬空结构（101）的单晶硅衬底（1），所述单晶硅衬底（1）的正面和反面分别为SiO₂薄膜层（2），所述单晶硅衬底（1）正面的SiO₂薄膜层（2）包括一层Si₃N₄薄膜层（3），所述Si₃N₄薄膜层（3）上设置有一电极连接层（4），所述电极连接层（4）上为一电极层（5），所述电极连接层（4）与电极层（5）形成的加热电极成一条纹结构（102）设置在所述Si₃N₄薄膜层（3）上。