| 发明名称 | 制造中间反射层的方法 | ||
| 摘要 | 在薄膜串联太阳能电池中制造中间反射层，其在于：在由包含H<sub>2</sub>、SiH<sub>4</sub>、掺杂剂气体和CO<sub>2</sub>的气体混合物供料的加工气氛中，通过PEDVD沉积层。选择H<sub>2</sub>:SiH<sub>4</sub>流量比为100-400，并且将CO<sub>2</sub>:SiH<sub>4</sub>通量比选择为尽可能高，从而保持层的导电性。 | ||
| 申请公布号 | CN103975448A | 申请公布日期 | 2014.08.06 |
| 申请号 | CN201280054240.9 | 申请日期 | 2012.09.04 |
| 申请人 | 东电电子太阳能股份公司 | 发明人 | L.洛伊夫格伦;M.德斯佩斯塞;J.巴拉特 |
| 分类号 | H01L31/054(2014.01)I;H01L31/076(2012.01)I | 主分类号 | H01L31/054(2014.01)I |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人 | 周李军;杨思捷 |
| 主权项 | 一种在薄膜串联太阳能电池中制造中间反射层IRL的方法，所述方法包括：在由H<sub>2</sub>:SiH<sub>4</sub>流量比为100‑400的包含H<sub>2</sub>、SiH<sub>4</sub>、掺杂剂气体和CO<sub>2</sub>的气体混合物供料的加工气氛中，通过PEDVD沉积层，并且通过将CO<sub>2</sub>:SiH<sub>4</sub>通量比选择为尽可能高，从而保持所述层的导电性。 | ||
| 地址 | 瑞士特吕巴赫 | ||