基于微透镜阵列的激光扩束匀光器

摘要

基于微透镜阵列的激光扩束匀光器，属于激光扩束领域。所述激光扩束匀光器依次由位于同一直线上的第一级微透镜阵列、可变光阑和第二级微透镜阵列构成，三者的屏边平行，组成共轴系统。其中，第一级微透镜阵列和第二级微透镜阵列的微透镜元参数相同，微透镜元直径为p，微透镜阵列的后焦距为f；第一级微透镜阵列的直径为D₁，可变光阑的最大直径为D₂，第二级微透镜阵列的直径为D₃，两级微透镜阵列之间的距离为d，可变光阑距第一级微透镜阵列和第二级微透镜阵列的距离分别为f和d-f。本发明通过应用微透镜阵列取代单透镜设计扩束系统，改善扩束光学系统像差质量，简化系统结构，提高扩束比，降低了系统装调的精度要求。

主权项

一种基于微透镜阵列的激光扩束匀光器，其特征在于所述激光扩束匀光器依次由位于同一直线上的第一级微透镜阵列、可变光阑和第二级微透镜阵列构成，三者的屏边平行，组成共轴系统；其中，可变光阑距第一级微透镜阵列和第二级微透镜阵列的距离分别为f和d‑f，f为微透镜阵列的后焦距，d为第一级微透镜阵列和第二级微透镜阵列之间的距离。