电流传感器、逆变器电路以及具有其的半导体器件

摘要

本发明公开一种电流传感器、逆变器电路以及具有其的半导体器件。该具有横向半导体元件的半导体器件，包括半导体衬底(1，21)、位于衬底(1，21)上的第一电极(12，29)、位于衬底(1，21)上的第二电极(13，28)以及位于衬底(1，21)中以将衬底(1，21)划分为第一岛和与该第一岛电绝缘的第二岛的隔离结构(1d，21d，56)。横向半导体元件包括位于第一岛中的主单元以及位于第二岛中的感测单元。主单元使第一电流在第一电极(12，29)和第二电极(13，28)之间流动以使得第一电流沿着衬底(1，21)的表面在横向方向上流动。通过检测流经感测单元的第二电流来检测该第一电流。

主权项

一种具有横向半导体元件的半导体器件，所述半导体器件包括：半导体衬底（1，21）；位于所述衬底（1，21）的表面上的第一电极（12，29）；位于所述衬底（1，21）的所述表面上的第二电极（13，28）；位于所述衬底（1，21）中的隔离结构（1d，21d，56），用以将所述衬底（1，21）划分为第一岛和第二岛，所述第一岛和第二岛彼此电绝缘，以及感测电阻器（Rs，Rs1，Rs2），其中，所述横向半导体元件包括位于所述第一岛中的主单元和位于所述第二岛中的感测单元，所述主单元使第一电流在所述第一电极（12，29）和所述第二电极（13，28）之间流动以使得所述第一电流沿着所述衬底（1，21）的所述表面在横向方向上流动，通过检测流经所述感测单元的第二电流来检测所述第一电流，所述感测电阻器（Rs，Rs1，Rs2）连接到所述感测单元，以便由所述第二电流在所述感测电阻器（Rs，Rs1，Rs2）与所述感测单元（Rs，Rs1，Rs2）之间的连接点处产生电压（V1，V2），基于所述电压（V1，V2）检测所述第二电流，并且所述感测电阻器（Rs，Rs1，Rs2）位于与所述主单元和所述感测单元电隔离的区域。