温度测量装置和温度测量方法

摘要

本发明提供温度测量装置和温度测量方法。能够同时测量多个处理腔室内的温度测量对象物的温度。该温度测量装置包括：第1光分离部件，其用于将来自光源的光分成多个测量用的光；多个第2光分离部件，其用于将多个测量用的光分别分成测量光和参照光；第3光分离部件，其用于将测量光分成n个测量光即第1测量光～第n测量光；参照光反射部件，其用于将多个参照光分别反射；一个光路长度变化部件，其用于使从参照光反射部件反射的参照光的光路长度变化；多个光检测器，其用于对从温度测量对象物反射的第1测量光～第n测量光与从参照光反射部件反射的多个参照光之间的干涉进行测量。

主权项

一种温度测量装置，其特征在于，该温度测量装置包括：光源；第1光分离部件，其用于将来自上述光源的光分成多个测量用的光；多个第2光分离部件，其用于将来自上述第1光分离部件的多个测量用的光分别分成测量光和参照光；与上述第2光分离部件数量相等的第3光分离部件，其用于将来自上述第2光分离部件的各个测量光进一步分成n个测量光即第1测量光～第n测量光；参照光反射部件，其用于将来自上述多个第2光分离部件的参照光分别反射；光路长度变化部件，其用于使从上述参照光反射部件反射的参照光的光路长度变化；与上述第2光分离部件数量相等的参照光传送部件，其用于将来自上述第2光分离部件的各个参照光传送到向上述参照光反射部件照射的位置；第1测量光传送部件～第n测量光传送部件，其用于将来自上述第3光分离部件的上述第1测量光～第n测量光分别传送到向温度测量对象物的各测量点照射的测量光照射位置；与上述第2光分离部件数量相等的光检测器，其用于对从上述温度测量对象物反射的上述第1测量光～第n测量光与从上述参照光反射部件反射的多个参照光之间的干涉进行测量，使上述第1测量光～第n测量光的从上述第3光分离部件到上述温度测量对象物的各个光路长度互不相同，并且利用一个上述光路长度变化部件使从上述参照光反射部件反射的参照光的光路长度变化。