成像光学系统、具有该成像光学系统的显微镜装置及实体显微镜装置

摘要

本发明提供一种成像光学系统，其具有较大的光轴间距离，同时可避免显微镜装置的光学系统整体的大型化，可向低倍区域扩大，其中，平行系实体显微镜装置(100)等中使用的变倍光学系统(3)，具有光轴基本平行地配置的多个光路，包括多个透镜组，使与各光路基本平行入射的光束直径变倍并作为基本平行的光束出射，对应变倍，在各光路中，至少两个透镜组沿光轴移动，多个光路中，至少一个光路的至少两个透镜组在从高倍端状态向低倍端状态变倍的区间的至少一部分，对应变倍以具有与光轴正交方向上的成分的方式移动。

主权项

一种成像光学系统，通过物镜及观察光学系统形成像，并且以能够使上述像变倍的方式构成，其特征在于，上述观察光学系统具有多个光路，使来自上述物镜的光分别从上述多个光路出射，上述多个光路分别具有多个透镜组，上述多个光路中的至少一个光路中，在从高倍端状态向低倍端状态变倍的区间的至少一部分，上述多个透镜组中的至少两个透镜组分别以具有与上述观察光学系统的基准光轴正交的方向上的成分的方式移动，以具有与上述观察光学系统的上述基准光轴正交的方向上的成分的方式移动的上述透镜组中的至少一个是第1校正透镜组，在从高倍端状态向低倍端状态变倍时，上述第1校正透镜组以上述多个光路中的上述透镜组的光轴间距离变短的方式移动，使得通过所述物镜的光线中的周边部分的光线靠近所述物镜的光轴侧，以具有与上述观察光学系统的基准光轴正交的方向上的成分的方式移动的上述透镜组的其余透镜组是第2校正透镜组，该第2校正透镜组对通过上述第1校正透镜组而变化的光路进行校正。