发明名称 |
双极晶体管 |
摘要 |
一种双极晶体管,包括衬底、集电极层、具有p导电型的基极层和具有n导电型的发射极层。所述集电极层形成在所述衬底上,并且包括第一氮化物半导体。具有p导电型的基极层形成在集电极层上,并且包括第二氮化物半导体。具有n导电型的发射极层形成在基极层上,并且包括第三氮化物半导体。集电极层、基极层和发射极层形成为相对于衬底的表面的晶体生长方向与衬底的[0001]方向平行。第一氮化物半导体包括In<sub>yc</sub>Al<sub>xc</sub>Ga<sub>1-xc-yc</sub>N,其中0≤xc≤1,0≤yc≤1,0<xc+yc≤1。在第一氮化物半导体中,在表面侧上的a轴的长度比在衬底侧上的a轴的长度长。 |
申请公布号 |
CN102246283B |
申请公布日期 |
2014.08.06 |
申请号 |
CN200980150271.2 |
申请日期 |
2009.10.16 |
申请人 |
瑞萨电子株式会社 |
发明人 |
安藤裕二;宫本广信;中山达峰;冈本康宏;井上隆;大田一树 |
分类号 |
H01L21/331(2006.01)I;H01L21/205(2006.01)I;H01L29/737(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/331(2006.01)I |
代理机构 |
中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 |
代理人 |
孙志湧;穆德骏 |
主权项 |
一种双极晶体管,包括:衬底;集电极层,所述集电极层被构造为形成在所述衬底上,并且包括第一氮化物半导体;基极层,所述基极层具有p导电型,被构造为形成在所述集电极层上,并且包括第二氮化物半导体;以及发射极层,所述发射极层具有n导电型,被构造为形成在所述基极层上,并且包括第三氮化物半导体;其中,所述集电极层、所述基极层和所述发射极层形成为相对于所述衬底的表面的晶体生长方向与所述衬底的[0001]方向平行,其中,所述第一氮化物半导体包括:In<sub>yc</sub>Al<sub>xc</sub>Ga<sub>1‑xc‑yc</sub>N,其中0≤xc≤1,0≤yc≤1,0<xc+yc≤1,并且其中,在所述第一氮化物半导体中,在表面侧上的a轴的长度比在衬底侧上的a轴的长度长,所述表面侧是指相反于所述衬底侧的所述第一氮化物半导体的另一侧。 |
地址 |
日本神奈川 |