导电图案检查装置

摘要

本发明提供一种无论导电图案的配设方式如何都能够简易地确定断线位置的导电图案检查装置。导电图案检查装置包括：施加机构，从发生断线的导电图案(110)的一端施加交流电压；传感器，经由间隙与基板对置，并在横穿所述多个导电图案(110)的方向上移动；两个以上的线状电极(30)、(32)，设置在所述传感器中，在相互不同的方向上延伸并且相互电绝缘；控制部，根据所述两个以上的线状电极(30)、(32)分别检测出的电压信号的突变时刻确定出所述断线位置。

主权项

一种导电图案检查装置，其特征在于，其在基板上在第一方向上间隔配设的多个导电图案中，检测发生断线的导电图案中的断线位置，该装置包括：施加机构，从所述发生断线的导电图案的一端施加交流电压；传感器，经由间隙与所述基板对置，并在横穿所述多个导电图案的方向上移动；两个以上的线状电极，设于所述传感器上，在相互不同的方向上延伸并且相互电绝缘，并分别与对置的导电图案静电耦合；控制部，根据所述两个以上的线状电极分别检测出的电压信号的突变时刻确定所述断线位置。