| 发明名称 | 一种湿法刻蚀设备 | ||
| 摘要 | 本实用新型所述的一种湿法刻蚀设备，包括储液管、设置在储液管外壁上的若干喷射单元以及设置在所述喷射单元下方的传输部件；工作时，在吸液泵的作用下，设置在传输部件上方的吸液管通过设置在管壁上的吸液孔能够有效对积聚在基板上的刻蚀液进行吸除，以保证刻蚀的均匀性，提高产品的良率。而且，传输部件可选用水平传输部件，比在水平方向上设置倾斜角的传输部件设备精度要求低，能有效降低设备成本。 | ||
| 申请公布号 | CN203760432U | 申请公布日期 | 2014.08.06 |
| 申请号 | CN201320849385.X | 申请日期 | 2013.12.20 |
| 申请人 | 昆山国显光电有限公司 | 发明人 | 钟立华;张田超 |
| 分类号 | H01L21/67(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/67(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人 | 彭秀丽 |
| 主权项 | 一种湿法刻蚀设备，包括储液管(1)、设置在储液管(1)外壁上的若干喷射单元(2)以及设置在所述喷射单元(2)下方的传输部件(3)，待刻蚀的基板(5)设置在所述传输部件(3)上，所述喷射单元(2)的喷射方向朝向所述基板(5)的上平面，其特征在于，所述湿法刻蚀设备还包括与吸液管(4)连接的储液箱(7)，所述基板(5)的上方设置有吸液管(4)，所述吸液管(4)的管壁上设置有若干吸液孔(41)，所述吸液管(4)与储液箱(7)连接。 | ||
| 地址 | 215300 江苏省苏州市江苏省昆山市开发区龙腾路1号4幢 | ||