| 发明名称 | 干法刻蚀机夹具座 | ||
| 摘要 | 本实用新型涉及一种干法刻蚀机夹具座。其技术方案是：包括酸槽、左下支架、第一聚偏氟乙烯管、右下支架、左上支架、第二聚偏氟乙烯管、右上支架，所述的酸槽的中部安设有左下支架、右下支架、左上支架、右上支架，所述的左下支架和右下支架上固定第一聚偏氟乙烯管，所述的左上支架、右上支架上固定第二聚偏氟乙烯管；所述的第一聚偏氟乙烯管和第二聚偏氟乙烯管组成刻蚀平面。有益效果是：通过夹具座的改造，硅片在放置的过程中整齐的程度得到了保障，从而保障了硅片在干刻过程中刻蚀边缘的宽度，极大程度了降低了过刻片的产生降低了硅片的返工率和失效、低效片的产生。 | ||
| 申请公布号 | CN203760434U | 申请公布日期 | 2014.08.06 |
| 申请号 | CN201320884238.6 | 申请日期 | 2013.12.31 |
| 申请人 | 山东天信光伏新能源有限公司 | 发明人 | 宋道新;万福旺;张振兴 |
| 分类号 | H01L21/67(2006.01)I;H01L21/687(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/67(2006.01)I |
| 代理机构 | 东营双桥专利代理有限责任公司 37107 | 代理人 | 罗文远 |
| 主权项 | 一种干法刻蚀机夹具座，其特征是：包括酸槽（1）、左下支架（2）、第一聚偏氟乙烯管（3）、右下支架（4）、左上支架（5）、第二聚偏氟乙烯管（6）、右上支架（7），所述的酸槽（1）的中部安设有左下支架（2）、右下支架（4）、左上支架（5）、右上支架（7），所述的左下支架（2）和右下支架（4）上固定第一聚偏氟乙烯管（3），所述的左上支架（5）、右上支架（7）上固定第二聚偏氟乙烯管（6）；所述的第一聚偏氟乙烯管（3）和第二聚偏氟乙烯管（6）组成刻蚀平面。 | ||
| 地址 | 257091 山东省东营市经济技术开发区淮河路79号 | ||