掩模制造装置及利用激光束制造掩模的方法

摘要

本发明公开一种掩模制造装置及利用激光束制造掩模的方法。一种掩模制造装置，其包括激光照射器、平台、框架和散热片。激光照射器将激光束分为多道子激光束并将子激光束照射到被放置在平台上的阴影掩模。框架设置在平台上来支撑阴影掩模。散热片接触阴影掩模材料，吸收从阴影掩模产生的热并将该热排出到阴影掩模的周围。因此，避免了阴影掩模过热。

主权项

一种掩模制造装置，包括：平台；激光束照射器，被构造为将激光束分为多道子激光束且进一步被构造为将多道子激光束朝向平台照射，以使多道子激光束照射到将要被放置在平台上的阴影掩模材料上；框架，设置在平台上且被构造为支撑阴影掩模材料；散热片，放置在平台上；其中，所述掩模制造装置被构造为使散热片接触阴影掩模材料，从而散热片吸收从阴影掩模材料产生的热并将该热散发到阴影掩模材料的周围环境中。