光断层观察装置以及光断层观察方法

摘要

本发明提供一种光断层观察装置以及光断层观察方法，通过与OCT不同的手法进行光断层观察，同时显示检查对象物质的断层方向分布。将从光源单元（103）射出的包含不同波长的激光的光束分割为2个光束，使第1光束通过物镜（123）聚光到试样（124），第2光束不照射到试样而作为参照光。使从试样反射的信号光和参照光通过偏振光分束器（119）合波，在光检测单元（103）中，使信号光和参照光在4个光检测器上以相互不同的相位关系干涉。信号处理部（105）针对每个波长进行以多个光检测器的输出为输入的运算来取得检测信号，针对试样内的每个位置，计算检测信号相对不同的波长的比，从而求出试样内的检查对象的断层分布。

主权项

一种光断层观察装置，其特征在于，具有光源单元、光观察头单元、光检测单元、控制部、信号处理部以及信息输入输出部，所述光源单元射出不同的波长的激光，所述光观察头单元具有：第1光学元件，将从所述光源单元射出的包含所述不同的波长的激光的光束分割为第1光束及第2光束；物镜，使所述第1光束聚光照射到试样，并接收从试样反射的反射光作为信号光；反射镜，使所述第2光束不照射到试样而作为参照光反射；第2光学元件，使所述信号光和所述参照光合波；以及致动器，在至少光轴方向上驱动所述物镜，所述光检测单元具有：多个光检测器；以及干涉光学系统，使所述信号光和所述参照光在各光检测器上以相互不同的相位关系干涉，所述控制部控制所述致动器以及所述不同的波长的激光的发光状态，所述信号处理部针对每个波长进行以所述多个光检测器的输出为输入的运算来取得检测信号，针对试样内的每个位置计算检测信号相对所述不同的波长的比，从而求出试样内的检查对象的断层分布，所述信息输入输出部具有：输入部，输入应通过所述光观察头单元观察的试样内的位置；以及显示部，显示所述检查对象的断层分布。