半导体传感器校准装置、系统和方法

摘要

公开了一种半导体传感器校准装置、系统和方法，所述半导体传感器校准装置包括：测试座，用于连接待校准半导体传感器，向处理器传输待校准半导体传感器测量获得的待校准测量值；参考传感器，用于根据外部物理量获取参考测量值；非易失性存储器，用于存储预先测量的与每一参考测量值对应的修正补偿值；处理器，分别与所述测试座、参考传感器和非易失性存储器连接，根据所述参考测量值查询对应的修正补偿值，并根据所述参考测量值和对应修正补偿值计算外部物理量的精确值，根据所述外部物理量的精确值和所述待校准测量值进行校准。该方案可以不依赖精确外部物理量输入并能精确标定校准半导体传感器，降低生产成本。

主权项

一种半导体传感器校准装置，其特征在于，包括：测试座，用于连接待校准半导体传感器，向处理器传输待校准半导体传感器测量获得的待校准测量值；参考传感器，用于根据外部物理量获取参考测量值；非易失性存储器，用于存储预先测量的与每一参考测量值对应的修正补偿值；处理器，分别与所述测试座、参考传感器和非易失性存储器连接，根据所述参考测量值查询对应的修正补偿值，并根据所述参考测量值和对应修正补偿值计算外部物理量的精确值，根据所述外部物理量的精确值和所述待校准测量值进行校准。