真空泵用电机驱动装置及真空泵

摘要

本发明提供一种真空泵用电机驱动装置及真空泵，能够缩减成本并且快速解决启动时的电机反转。一种真空泵用电机驱动装置包括：逆变器、第一运算部、电流指令设定部、驱动指令产生部和脉宽调制信号产生部。一种真空泵包括：泵转子、电机和所述的真空泵用电机驱动装置。在真空泵用电机驱动装置中，Id、Iq设定部(402)在泵启动时，当转动速度(ω)为表示正转动状态的正值时，设定加速驱动的q轴电流指令，当转动速度(ω)为表示逆转动状态的负值时，始终设定减速驱动的q轴电流指令。这样一来，通过变更以往所具备的Id、Iq设定部(402)中的处理，而使电机在逆转动时必然被减速，从而可快速转移到正常的泵启动运行。

主权项

一种真空泵用电机驱动装置，其特征在于包括：逆变器，具有多个开关元件，且驱动电机；第一运算部，基于有关电机相电压的信息及有关电机相电流的信息，算出电机转子的转动速度及磁极电转角；电流指令设定部，基于所述转动速度与目标转动速度的差值而设定转动坐标dq系中的d轴电流指令及q轴电流指令；驱动指令产生部，基于所述d轴电流指令、所述q轴电流指令、所述转动速度及所述磁极电转角，产生正弦波驱动指令；及脉宽调制信号产生部，基于所述正弦波驱动指令，产生用来对所述多个开关元件进行开关控制的脉宽调制控制信号；所述电流指令设定部是在泵启动时，当所述转动速度为表示正转动状态的正值时，设定加速驱动的所述q轴电流指令，当所述转动速度为表示逆转动状态的负值时，设定减速驱动的所述q轴电流指令。