研磨装置及研磨方法

摘要

一种研磨装置，具有：对基板(W)进行保持并使其旋转的基板保持部(3)；将研磨件(38)按压抵接于基板(W)而对该基板进行研磨的按压部件(51)；对按压部件(51)的按压力进行控制的按压力控制机构(56)；以及对按压部件(51)的研磨位置进行限制的研磨位置限制机构(65)。作为研磨件(38)，使用研磨带或固定磨料。采用本发明，能精密地控制基板的研磨量。

主权项

一种研磨装置，其特征在于，具有：基板保持部，该基板保持部对基板进行保持并使所述基板旋转；按压部件，该按压部件将研磨件按压到所述基板，从而对该基板进行研磨；按压力控制机构，该按压力控制机构对所述按压部件的按压力进行控制；以及研磨位置限制机构，该研磨位置限制机构对所述按压部件的研磨位置进行限制。