传送腔室接口用的浮动狭缝阀

摘要

本发明一般包括用于与腔室相接的浮动(floating)狭缝阀。浮动狭缝阀相对于另一对象(例如腔室)而移动或“浮动(float)”。狭缝阀可耦接于两个腔室之间。当耦接至狭缝阀的腔室加热时，狭缝阀亦可因传导而被加热。当狭缝阀被加热时，狭缝阀可能会产生热膨胀。当腔室抽成真空时，狭缝阀可能因为真空偏差而变形。通过在腔室及狭缝阀之间放置低摩擦材料间隔物，在热膨胀/收缩及/或真空偏差期间，狭缝阀不会磨抵腔室，因此，不会产生不期望的微粒污染物。另外，用于将狭缝阀耦接至腔室且钻设于腔室的狭孔的尺寸设计可容纳狭缝阀的热膨胀/收缩及/或真空偏差。

主权项

一种设备，包括：传送腔室，包括传送腔室主体，所述传送腔室主体具有：开口，穿设于所述传送腔室主体，所述开口的尺寸允许一个或多个基板通过所述开口；多个狭孔，穿设于所述传送腔室主体；狭缝阀，所述狭缝阀包括：狭缝阀主体，具有贯穿自身的开口，所述开口的尺寸允许基板通过所述开口；一个或多个间隔物组件，耦接至所述狭缝阀主体中，并且当所述狭缝阀由于热膨胀/收缩移动时，所述一个或多个间隔物组件能够沿着所述传送腔室的一侧滑动；以及紧固构件，所述紧固构件穿设于所述多个狭孔的一狭孔中，并与所述狭缝阀主体耦接，其中，所述传送腔室中的狭孔随着离所述开口的中央的距离越大而相继变大。