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一种氨水法回收LED制造中废氨气再利用的方法，其特征在于：该方法包括以下几个步骤：（1）废氨气吸收为氨水：由MOCVD炉排出的废氨气进入缓冲罐入口,缓冲罐出气口与饱和氨水吸收罐入口相联通,在‑0.05～‑0.01Mpa的微负压下范围内吸收为25%以上的饱和氨水，将废氨气回收，吸收的饱和氨水由循环泵打入氨气蒸发器，饱和以后无法吸收的多余氨气排出，进入文丘里真空发生器，将多余氨气吸收为15%以下的稀氨水，15%以下的稀氨水返回饱和氨水吸收罐，继续参与吸收为25%以上的饱和氨水，废氨气中的金属离子在氨水中呈氢氧化物状反复循环完成废氨气回收任务；（2）氨水蒸发为氨气冷凝为液氨：吸收的25%以上的饱和氨水由循环泵打入金属离子过滤器，将呈氢氧化物状的金属离子过滤出，过滤去氢氧化物状的金属离子的25%的饱和氨水进入氨气蒸发器内，经20～30℃热水加热汽化为含水量＜1%的氨气，氨气经过二道能去除0.1μm颗粒的不锈钢除沫器，将氨气中的颗粒物体挡在氨气蒸发器内，从氨气蒸发器顶排出的纯氨气进入冷凝器，经‑5～0℃冷却水冷凝为液氨，冷凝的液氨由于重力作用流入下面液氨接收罐，未冷凝的不凝杂质气体由冷凝器排放口排出，进入尾气中和排放塔，在此操作条件下冷凝的液氨含水量＜1%，无重组分、金属离子，不凝杂质气体含量＜1000ppm，主含量＞98%；（3）液氨初级提纯：将上述含量＞98%输入氨气蒸发器，经20～30℃热水加热汽化为含水量＜1ppm的氨气，氨气经过二道能去除0.1μm颗粒的不锈钢除沫器，将氨气中的颗粒物体再次挡在氨气蒸发器内，从氨气蒸发器顶排出的纯氨气进入冷凝器，经‑5～0℃冷却水冷凝为液氨，冷凝的液氨由于重力作用流入精馏提纯塔，未冷凝的不凝杂质气体由冷凝器排放口排出，进入尾气中和排放塔，在此操作条件下冷凝的液氨含水量＜1ppm，无重组分、金属离子，不凝杂质气体含量＜10ppm，主含量＞99.9999%；（4）精馏提纯塔精馏提纯：将上述含量大于99.9999%的液氨输入精馏提纯塔，进行精馏提纯，保持精馏提纯塔塔顶、塔釜温度在0～40℃范围内，压力在0.5～1.6Mpa范围内，冷却水温度控制在‑5～30℃范围内，塔顶轻组份的放空与回流量之比在1:30～50范围内，加料量与塔顶放空量之比在1:50～100范围内，在此操作条件下精馏分离，更进一步降低了原料中的轻组分、重组分、水分、金属离子的含量，在精馏塔中上部的产品出口可以生产出含量大于99.99999%的超纯氨成品；（5）成品液氨接收与汽化再利用：由上述提纯的含量大于99.99999%的超纯氨成品经成品高位槽，由重力作用流入成品接收罐，成品接收罐的液氨成品由重力作用流入成品汽化器，汽化器经20～30℃热水加热汽化为成品氨气，成品氨气经减压至0.1～0.2Mpa范围内供给MOCVD炉使用。 |
