光学滤波器器件、光学模块以及电子设备

摘要

本发明涉及光学滤波器器件、光学模块以及电子设备。其中，光学滤波器器件具备光干涉滤波器和壳体。光干涉滤波器具备固定基板、与固定基板接合的可动基板、设置在固定基板上的固定反射膜、设置在可动基板上的可动反射膜。壳体具备底部基板和在与底部基板之间形成内部空间的盖。可动基板在俯视观察中在光干涉区域的外侧具有设置在与固定基板的相反侧的面上的保持部，底部基板具备与光通过区域对应的光通过孔，光通过孔的外周边缘与保持部相对，可动基板的与固定基板相反侧的面与底部基板接合。

主权项

一种光学滤波器器件，其特征在于，具备：光干涉滤波器，具有：第一基板、与所述第一基板相对的第二基板、设置在所述第一基板上的第一反射膜、及设置在所述第二基板上并与所述第一反射膜相对的第二反射膜；以及壳体，具有底部基板和盖，所述底部基板固定所述光干涉滤波器，所述盖与所述底部基板接合，在所述盖与所述底部基板之间形成能够容纳所述光干涉滤波器的内部空间，在从基板厚度方向观察到的所述第一基板和所述第二基板的俯视观察中，所述第二基板在所述第一反射膜和所述第二反射膜重合的光干涉区域的外侧，具有设置在与所述第一基板相反侧的面上的环形的凹部，所述底部基板具有与光通过区域对应的光通过孔，所述光通过孔的外周边缘与所述环形的凹部相对，所述第二基板与所述第一基板相反侧的面与所述底部基板接合。