发明名称 |
一种并联接触式RF MEMS开关 |
摘要 |
一种并联接触式RF MEMS开关,其特征在于:包括包括衬底,设于衬底上的CPW地线,与CPW地线连接的金属桥膜,在金属桥膜的下方设有下拉电极与CPW信号线,在CPW信号线上设有接触点。并联接触式RF MEMS开关具有较低的工作频率,甚至可以控制直流信号;并且利用低应力电镀Au桥膜作为上电极,实现了接触电极之间的Au--Au接触,使其具有较低的插入损耗。 |
申请公布号 |
CN103972612A |
申请公布日期 |
2014.08.06 |
申请号 |
CN201410127355.7 |
申请日期 |
2014.04.01 |
申请人 |
苏州锟恩电子科技有限公司 |
发明人 |
杨俊民 |
分类号 |
H01P1/10(2006.01)I;H01H59/00(2006.01)I |
主分类号 |
H01P1/10(2006.01)I |
代理机构 |
南京纵横知识产权代理有限公司 32224 |
代理人 |
董建林 |
主权项 |
一种并联接触式RF MEMS开关,其特征在于:包括包括衬底,设于衬底上的CPW地线,与CPW地线连接的金属桥膜,在金属桥膜的下方设有下拉电极与CPW信号线,在CPW信号线上设有接触点。 |
地址 |
215153 江苏省苏州市高新区通安镇华金路255-7号 |