发明名称 一种并联接触式RF MEMS开关
摘要 一种并联接触式RF MEMS开关,其特征在于:包括包括衬底,设于衬底上的CPW地线,与CPW地线连接的金属桥膜,在金属桥膜的下方设有下拉电极与CPW信号线,在CPW信号线上设有接触点。并联接触式RF MEMS开关具有较低的工作频率,甚至可以控制直流信号;并且利用低应力电镀Au桥膜作为上电极,实现了接触电极之间的Au--Au接触,使其具有较低的插入损耗。
申请公布号 CN103972612A 申请公布日期 2014.08.06
申请号 CN201410127355.7 申请日期 2014.04.01
申请人 苏州锟恩电子科技有限公司 发明人 杨俊民
分类号 H01P1/10(2006.01)I;H01H59/00(2006.01)I 主分类号 H01P1/10(2006.01)I
代理机构 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 代理人 董建林
主权项 一种并联接触式RF MEMS开关,其特征在于:包括包括衬底,设于衬底上的CPW地线,与CPW地线连接的金属桥膜,在金属桥膜的下方设有下拉电极与CPW信号线,在CPW信号线上设有接触点。
地址 215153 江苏省苏州市高新区通安镇华金路255-7号